机译:EELS和NEXAFS的结构研究,研究了r.f.沉积的a-CN_x膜中氮掺入的影响。磁控溅射
Carbon nitride; a-CN_x; Thin films; Magnetron sputtering; EELS; NEXAFS;
机译:EELS和NEXAFS的结构研究,研究了r.f.沉积的a-CN_x膜中氮掺入的影响。磁控溅射
机译:溅射功率对r.f.沉积的ZnO:Ga薄膜性能的影响低温磁控溅射
机译:直流磁控溅射沉积的二硼化钛薄膜中的氮掺入:结构修改
机译:通过氮气掺入,反应磁控溅射沉积二氧化钛薄膜的结构变化
机译:通过反应磁控溅射沉积的亚稳态钛(0.5)铝(0.5)铝合金薄膜的物理性能。
机译:磁控溅射沉积SrTiO3薄膜的纳米结构和光学性能研究
机译:AR压力对R.F的腐蚀和结构性质的影响。磁控溅射Aln薄膜沉积在Al-Mg合金上。