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赵透玲; 任丙彦; 赵龙; 王文静;
北京市太阳能研究所;
河北工业大学信息功能材料研究所;
铟锡氧化物(ITO); 电阻率; 磁控溅射; 退火;
机译:在低衬底温度下通过射频磁控溅射沉积的Ti:ITO薄膜的透明导电特性
机译:基板温度对射频沉积电学和光学性能ITO膜的影响磁控溅射
机译:射频磁控溅射沉积在有机膜上的ITO薄膜的研究
机译:溅射参数对RF磁控溅射沉积ITO膜的影响
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机译:射频磁控溅射In2O3 / ITO薄膜热电偶的制备及热挥发特性
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机译:RF叠加直流磁控溅射沉积超薄ITO:Ce膜,膜的制备方法和包括其的触摸屏
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