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机译:通过等离子体增强原子层沉积制备的硅氧氮薄膜的微结构化学光学和电学性质的测量
机译:非晶氮氧化硅和氮化硅膜中结构缺陷的光电性能
机译:二氧化硅和硅氮氧化物溶胶/凝胶薄膜的介电性能