机译:内部线性感应耦合等离子体系统中多极磁场对等离子体特性和光刻胶蚀刻的影响
Inductively coupled plasma; Multipolar magnetic fields; R; f; antenna voltage; Antenna; Driven;
机译:内部线性感应耦合等离子体系统中多极磁场对等离子体特性和光刻胶蚀刻的影响
机译:具有多极磁场的内部线性电感耦合等离子体源的等离子体特性和天线电特性
机译:使用多极磁场的线性扩展感应耦合等离子体系统的等离子体和天线特性
机译:电感耦合等离子体中内部直线天线的多极磁场的影响
机译:在感应耦合等离子体反应器中研究碳氟化合物沉积和蚀刻对硅和二氧化硅蚀刻工艺的影响(使用三氟化甲基),并开发了用于研究等离子体与表面相互作用机理的反应离子束系统。
机译:硅晶片蚀刻速率特性具有突发宽度使用150 kHz带高功率突发电感耦合等离子体
机译:具有交叉内部振荡电流的低频感应耦合等离子体中的射频功率沉积的磁场和均匀性
机译:感应耦合等离子体中的感应磁场效应