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喻明浩;
西安理工大学机械与精密仪器工程学院 西安 710048;
感应耦合等离子体; 流场与电磁场; 非平衡; 数值模拟;
机译:电磁搅拌下圆坯模具中电磁场与流场的耦合数值模拟
机译:射频电磁场与非平衡等离子体MHD发生器性能的三维数值模拟
机译:耦合数值模拟电磁场,流场和M-EMSΦ210mm圆坯模具中的流场和热传递的数值模拟研究
机译:在感应耦合等离子体反应器中研究碳氟化合物沉积和蚀刻对硅和二氧化硅蚀刻工艺的影响(使用三氟化甲基),并开发了用于研究等离子体与表面相互作用机理的反应离子束系统。
机译:电磁场的非热细胞效应交流场感应的重电动势。
机译:0.5 MHz感应耦合等离子体中的非线性电磁场
机译:耦合流场解非平衡辐射加热预测方法的研究
机译:感应耦合等离子体天线单元,感应耦合等离子体处理装置以及感应耦合等离子体处理方法
机译:具有高密度的均匀等离子体密度分布的感应耦合等离子体天线,不会造成损伤,并且具有相同特性的感应耦合等离子体处理设备
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