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机译:六甲基乙硅烷的离子束诱导化学气相沉积法,用于氢化非晶碳化硅和碳氮化硅膜
Ion beam; Chemical vapor deposition; Hexamethyldisilane; A-sic : h film; A-sicn : h film; Cubic sic films; Mechanical-properties; Thin-films; Band-gap; Growth; Crystalline; Nitride; Plasma; Methylsilane; Substrate;
机译:六甲基乙硅烷的离子束诱导化学气相沉积法,用于氢化非晶碳化硅和碳氮化硅膜
机译:从四甲基二硅氮烷源进行远程氢氮等离子体化学气相沉积。第1部分。沉积非晶氢化碳氮化硅薄膜的过程,结构和表面形态的机理
机译:化学气相沉积过程中射频偏压对氢化非晶碳化硅膜化学结构的影响
机译:用电子回旋谐振等离子体化学气相沉积制备氢化非晶碳化硅膜微观结构和光学性能的影响
机译:通过聚合物源化学气相沉积合成的非晶碳化硅和碳氮化硅薄膜的表征。机械结构和金属界面性能
机译:通过快速热退火工艺增强氢化非晶碳化硅薄膜的光致发光
机译:通过等离子体增强的化学气相沉积沉积氢化非晶碳化硅薄膜