机译:优化的金刚石沉积微波等离子体反应器的仿真与开发
CVD; Diamond; Microwave plasma; Numerical simulation;
机译:优化的金刚石沉积微波等离子体反应器的仿真与开发
机译:使用动力学蒙特卡洛模型和微波等离子体和热丝化学气相沉积反应器的二维模型模拟化学气相沉积金刚石膜的生长
机译:基于仿真的新圆柱形微波 - 血浆反应器的仿真发展,用于金刚石膜合成
机译:圆柱形腔型微波等离子体化学气相沉积金刚石膜沉积反应器的研制
机译:用微波腔等离子体反应器低温沉积透明金刚石薄膜。
机译:微波等离子体化学气相沉积掺氮钻石。 II:CH4 / N2 / H2等离子
机译:基于仿真的新圆柱形微波 - 血浆反应器的仿真发展,用于金刚石膜合成
机译:通过微波等离子体辅助化学气相沉积在高温下高生长率同质外延金刚石膜沉积