微波等离子体法沉积金刚石技术

摘要

目前,微波等离子体CVD法被认为是一种理想的沉积金刚石的方法。近年来,我国CVD金刚石行业加大资金投入,并在MPCVD领域取得了较大进展,CVD金刚石产量得到迅速增长。具体来看,从2014年的34.5万克拉发展到2019年,我国CVD金刚石产量增长至95.8万克拉以上,且在未来仍有着一定的增长空间。而随着技术的不断进步,市场需求的持续增长,我国CVD金刚石行业市场规模也在稳步扩大,发展到2019年已经增长至9750万元以上,与上一年7850万元的市场规模相比,增长近24.2个百分点,市场规模呈现出高速增长趋势。