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外文会议
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IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems
IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems
召开年:
2013
召开地:
Taipei(CT)
出版时间:
-
会议文集:
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4362
条结果
1.
Transparent graphene-AZO/ZNO/glass surface acoustic wave device for electronics and lab-on-a-chip applications
机译:
用于电子和实验室应用的透明石墨烯-AZO / ZnO /玻璃表面声波装置
作者:
Jian Zhou
;
Ding B. Xiao
;
Zhao X. Song
;
Ming Zhuo
;
Xue Z. Wu
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Surface acoustic wave devices;
Surface acoustic waves;
Temperature sensors;
Films;
Zinc oxide;
II-VI semiconductor materials;
2.
Bandwidth and SNR enhancement of MEMS microphones using two poly-Si micromachining processes
机译:
使用两种多Si微机器工艺的MEMS麦克风的带宽和SNR增强
作者:
Sung-Cheng Lo
;
Sheng-Kai Yeh
;
Jhih-Jhe Wang
;
Mingching Wu
;
Rongshun Chen
;
Weileun Fang
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Microphones;
Sensors;
Micromechanical devices;
Actuators;
Acoustic measurements;
Semiconductor device measurement;
Fabrication;
3.
Reliability study on thin film capped monolithic CMOS-MEMS resonator with standard plastic packaging
机译:
薄膜的可靠性研究用标准塑料包装覆盖整体CMOS-MEMS谐振器
作者:
Eloi Marigó Ferrer
;
Mohanraj Soundara Pandian
;
Arantxa Uranga
;
Núria Barniol
;
Wee Song Tay
;
Chan Buan Fei
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Micromechanical devices;
Packaging;
Reliability;
Resonant frequency;
Performance evaluation;
Standards;
Electrostatics;
4.
DIELECTRIC GRADIENT METASURFACE FOR EFFICIENT TERAHERTZ WAVE FOCUSING
机译:
高效太赫兹波聚焦的介电梯度元表面
作者:
D. Jia
;
Y. Tian
;
W. Ma
;
X. Gong
;
J. Yu
;
G. Zhao
;
X. Yu
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
5.
Dissolvable material-sheathed microneedle-electrode device slid into a narrow gap of the brain
机译:
可溶解的材料护套微针电极装置滑入大脑的狭窄间隙
作者:
Shota Yamagiwa
;
Hirohito Sawahata
;
Rika Numano
;
Makoto Ishida
;
Kowa Koida
;
Takeshi Kawano
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Needles;
Mice;
Substrates;
Coatings;
Impedance;
Electrodes;
Brain;
6.
Sidewall electrode-chamber for lipid bilayer formation suitable for rapid access of odors to lipid membrane
机译:
用于脂质双层的侧壁电极室,适用于脂质膜的快速进入气味
作者:
Nobuo Misawa
;
Satoshi Fujii
;
Koki Kamiya
;
Toshihisa Osaki
;
Shoji Takeuchi
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Magnetic separation;
Magnetic resonance imaging;
Lipidomics;
Adsorption;
Oils;
Magnetic films;
Electrodes;
7.
Temperature compensation of resonant accelerometer via nonlinear operation
机译:
通过非线性操作谐振加速度计的温度补偿
作者:
Dongsuk D. Shin
;
Yunhan Chen
;
Ian B. Flader
;
Thomas W. Kenny
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Resonators;
Resonant frequency;
Temperature sensors;
Temperature distribution;
Accelerometers;
Thermal stability;
8.
Fabrication and evaluation of assembled micro-tube resonator for mass measurement in flowing liquid
机译:
流动液体质量测量的组装微管谐振器的制造与评价
作者:
Mohammad Akita Indianto
;
Masaya Toda
;
Takahito Ono
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Resonant frequency;
Fabrication;
Liquids;
Glass;
Microchannels;
Performance evaluation;
Silicon;
9.
Increased piezoresistive effects of silicon nanowires for effective biomimetic sensing
机译:
增加硅纳米线对有效仿生感测的压阻效应
作者:
Seohyeong Jang
;
Baboro Chang
;
Jinwoo Sung
;
Taeyup Kim
;
Hyoungho Ko
;
Kyo-in Koo
;
Dong-il Dan Cho
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Silicon;
Fabrication;
Sensors;
Nanowires;
Hair;
Stress;
Piezoresistance;
10.
Large-scale MEMS-actuated 2-D optical phased arrays
机译:
大型MEMS驱动的2-D光相控阵
作者:
Youmin Wang
;
Guangya Zhou
;
Kyoungsik Yu
;
Ming C. Wu
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Gratings;
Micromechanical devices;
Holography;
Holographic optical components;
Phased arrays;
Optical beams;
Phase shifters;
11.
LOW DNA DAMAGE SPERM SORTING WITH VARIED VISCOSITIES IN MICROFLUIDIC CHIP
机译:
低DNA损伤精液与微流体芯片中不同粘度的分类
作者:
Yu-Hsin Lu
;
Cheng-Ying Lu
;
Da-Jeng Yao
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
12.
Fabrication of C-doped WO
3
nanoamterial-based gas sensors for highly sensitive NO
2
detection at room temperature
机译:
C掺杂WO
3 INF>用于高敏感的NO
2 IM>检测室温下的纳米钳式气体传感器
作者:
Dae-Hyun Baek
;
Soonjae Pyo
;
Jongbaeg Kim
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Temperature sensors;
Gas detectors;
Nanomaterials;
Actuators;
Tungsten;
13.
Monolithic integration of photonic stack onto CMOS imager for absorption spectroscopy
机译:
光子叠层对吸收光谱法CMOS成像仪的单片集成
作者:
Maurine Malak
;
Tom Claes
;
Victor Garcia-Munoz
;
Hemant Kumar Tyagi
;
Rita Van Hoof
;
Gillis Winderickx
;
Simone Severi
;
Woochang Lee
;
Dongho Kim
;
Sungmo Ahn
;
Pol Van Dorpe
;
Xavier Rottenberg
;
Peter Peumans
;
Harrie A.C. Tilmans
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Mirrors;
Optical waveguides;
Photonics;
Optical resonators;
Optical device fabrication;
Optical imaging;
14.
A VHF temperature compensated lithium niobate-on-oxide resonator with Q > 3900 for low phase noise oscillators
机译:
具有Q> 3900的VHF温度补偿锂铌酸锂谐振器,用于低相位噪声振荡器
作者:
Grace W. Fang
;
Gayathri Pillai
;
Ming-Huang Li
;
Chun-You Liu
;
Sheng-Shian Li
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Temperature measurement;
Micromechanical devices;
Phase noise;
Resonant frequency;
Couplings;
Fabrication;
15.
Miniaturization of a grating-based SPR type near-infrared spectrometer by using vibration of a MEMS cantilever
机译:
使用MEMS悬臂的振动,镀栅的SPR型近红外光谱仪的小型化
作者:
Masaaki Oshita
;
Hidetoshi Takahashi
;
Tetsuo Kan
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Photoconductivity;
Diffraction gratings;
Gratings;
Diffraction;
Gold;
Micromechanical devices;
Wavelength measurement;
16.
HIGH STABILITY THERMAL ACCELEROMETER BASED ON ULTRATHIN PLATINUM ALD NANOSTRUCTURES
机译:
基于超薄铂ALD纳米结构的高稳定热加速度计
作者:
Camille L. M. Everhart
;
Kirsten E. Kaplan
;
Martin M. Winterkorn
;
Heungdong Kwon
;
J. Provine
;
Mehdi Asheghi
;
Kenneth E. Goodson
;
Fritz B. Prinz
;
Thomas W. Kenny
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
17.
GROUND EFFECT MEASUREMENT OF BUTTERFLY TAKE-OFF
机译:
蝴蝶脱落的地面效应测量
作者:
T. Hagiwara
;
H. Takahashi
;
T. Takahata
;
I. Shimoyama
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
18.
Small footprint, high-performance silicon capacitive accelerometer with a 3-D process
机译:
小型占地面积小,高性能硅电容式加速度计,带3D过程
作者:
F. Maspero
;
S. Delachanal
;
A. Berthelot
;
L. Joet
;
G. Langfelder
;
S. Hentz
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Electrodes;
Sensors;
Micromechanical devices;
Fabrication;
Accelerometers;
Floors;
Capacitance;
19.
A calorimetric flow sensor for ultra-low flow applications using electrochemical impedance
机译:
用于使用电化学阻抗的超低流量应用的量热流量传感器
作者:
Alex Baldwin
;
Trevor Hudson
;
Ellis Meng
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Impedance;
Electrodes;
Impedance measurement;
Heating systems;
Temperature measurement;
Fluid flow measurement;
Thermal sensors;
20.
ELASTICITY SENSOR USING DIFFERENT TACTILE PROPERTIES ON ONE CHIP
机译:
弹性传感器在一个芯片上使用不同的触觉性能
作者:
R. Tanii
;
T. V. Nguyen
;
T. Takahata
;
I. Shimoyama
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
21.
Visible range subtractive plasmonic color filter arrays using AG-AU alloyed nanoislands
机译:
可见范围减法等离子体滤色器阵列使用Ag-Au合金纳米岛
作者:
Charles S. H. Hwang
;
Youngseop Lee
;
Myeong-Su Ahn
;
Taerin Chung
;
Ki-Hun Jeong
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Plasmons;
Gold;
Fabrication;
Optical filters;
Image color analysis;
Color;
22.
A compact magnetic resonance imaging system integrated micro RF and gradient coils for small sample measurement
机译:
紧凑型磁共振成像系统集成了微射频和梯度线圈,用于小样本测量
作者:
Dai Tsuchiya
;
Tetsuji Dohi
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Coils;
Magnetic resonance imaging;
Radio frequency;
Magnetic fields;
Resistance;
Wiring;
Fixtures;
23.
MEMS-based near-zero power infrared wireless sensor node
机译:
基于MEMS的近零功率红外线无线传感器节点
作者:
Vageeswar Rajaram
;
Zhenyun Qian
;
Sungho Kang
;
Nicol. E McGruer
;
Matteo Rinaldi
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Wireless sensor networks;
Wireless communication;
Microcontrollers;
Current measurement;
Power demand;
Batteries;
Sensors;
24.
EFFECT OF BUBBLE INTERFACE POSITION ON PROPULSION AND ITS CONTROL FOR OSCILLATING-BUBBLE POWERED MICROSWIMMER
机译:
气泡界面位置对振荡 - 气泡动力微励仪推进的影响及其控制
作者:
Fang-Wei Liu
;
Ye Zhan
;
Sung Kwon Cho
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
25.
Generation of hanging drops with defined solution concentrations using a sliding hanging drop chip
机译:
使用滑动悬挂芯片的定义解决方案浓度的悬挂液滴
作者:
Chia-Yu Tang
;
Chien-Chung Fu
;
Chia-Hsien Hsu
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Drugs;
Microfluidics;
Three-dimensional displays;
Plugs;
Liquids;
Machining;
26.
MICROFLUIDIC STEPWISE-WAVEFORM REGULATOR DRIVEN BY CONSTANT PRESSURE
机译:
微流体逐步波形调节器由恒压驱动
作者:
Geunyong Kim
;
Sung-Jin Kim
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
27.
An integrated, direct-write temperature shock recording chip
机译:
集成,直写温度冲击录像芯片
作者:
Zhichun Shao
;
Huiliang Liu
;
Yumeng Liu
;
Hyung-seok Jang
;
Benyuanyi Liu
;
Bo Zhao
;
Ali M. Niknejad
;
Liwei Lin
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Temperature sensors;
Resistance;
Resistance heating;
Immune system;
Electric shock;
Silver;
28.
A high-performance single-chip timing and inertial measurement unit with robust mode-matched gyroscopes
机译:
具有鲁棒模式匹配陀螺仪的高性能单芯片定时和惯性测量单元
作者:
Haoran Wen
;
Anosh Daruwalla
;
Yaesuk Jeong
;
Pranav Gupta
;
Jaehoo Choi
;
Chang-shun Liu
;
Farrokh Ayazi
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Transducers;
Micromechanical devices;
Gyroscopes;
Accelerometers;
Electrodes;
Heating systems;
Timing;
29.
Pneumatically driven PDMS micropillars for the investigation of cell-cell interaction
机译:
气动驱动的PDMS微米用于调查细胞 - 细胞相互作用
作者:
Kaori Furuike
;
Ai Shima
;
Yuya Morimoto
;
Shoji Takeuchi
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Actuators;
Bars;
Couplings;
Micromechanical devices;
Adaptive optics;
Optical device fabrication;
30.
Single-phase isolation of paired hetero particles within a microfluidic device for multiplex analysis without cross-contamination
机译:
微流体装置内配对杂颗粒的单相分离,用于多重分析而不交叉污染
作者:
Wonhyung Lee
;
Hojin Kim
;
Sanghyun Lee
;
Joonwon Kim
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Microfluidics;
Multiplexing;
Microchannels;
Silicon;
Performance evaluation;
Valves;
Bars;
31.
A CMOS COMPATIBLE GHZ ULTRASONIC PULSE PHASE SHIFT BASED TEMPERATURE SENSOR
机译:
CMOS兼容GHz超声波脉冲相移基于温度传感器
作者:
Mamdouh Abdelmejeed
;
Justin C. Kuo
;
Amit Lal
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
32.
A foot-treding type electric power generator using micro/nano channels in a porous glass filter
机译:
一种脚踏式电力发电机,在多孔玻璃过滤器中使用微/纳米通道
作者:
Yo Tanaka
;
Yaxiaer Yalikun
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Glass;
Light emitting diodes;
Prototypes;
Generators;
Timing;
Capacitors;
Voltage control;
33.
Pattern projector using superposition of double microlens arrays for hybrid 3D endoscope
机译:
采用双微透镜阵列进行混合动力3D内窥镜的图案投影仪
作者:
Sung-Pyo Yang
;
Jae-Bum Kim
;
Ki-Hun Jeong
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Three-dimensional displays;
Cameras;
Stereo image processing;
Lenses;
Microoptics;
Diffraction;
34.
A high-density integrated odorant sensor array system based on insect cells expressing insect odorant receptors
机译:
基于昆虫细胞的高密度集成气味传感器阵列系统,表达昆虫细胞
作者:
Sanato Nagata
;
Norifumi Kameshiro
;
Daigo Terutsuki
;
Hidefumi Mitsuno
;
Takeshi Sakurai
;
Kiichi Niitsu
;
Kazuo Nakazato
;
Ryohei Kanzaki
;
Masahiko Ando
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Fluorescence;
Insects;
Sensor arrays;
Electrodes;
Electric potential;
Olfactory;
Receptor (biochemistry);
35.
ZnO-NANOWIRES COATED WITH GAMMA-ORDERED MESOPOROUS ALUMINA (GAMMA-OMA) CATALYST FOR DETECTION OF FREON
机译:
Zno-纳米线涂有γ订购的介孔氧化铝(γ-OMA)催化剂,用于检测氟利昂
作者:
Pengcheng Xu
;
Ying Chen
;
Xinxin Li
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
36.
Microfluidic oxygen sensor based on silica gels for longterm experiments
机译:
基于硅胶的微流体氧传感器用于Longterm实验
作者:
Frank Bunge
;
Sander van den Driesche
;
Anya Waite
;
Ursula Mirastschijski
;
Michael J. Vellekoop
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Temperature measurement;
Temperature sensors;
Microfluidics;
Silicon compounds;
Semiconductor device measurement;
Silicon;
37.
An RF-MEMS-resonator-driven graphene transistor
机译:
RF-MEMS - 谐振器驱动的石墨烯晶体管
作者:
Ji Liang
;
Xuejiao Chen
;
Menglun Zhang
;
Hao Zhang
;
Daihua Zhang
;
Wei Pang
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Graphene;
Logic gates;
Aluminum nitride;
Transistors;
III-V semiconductor materials;
Acoustic waves;
Micromechanical devices;
38.
Zernike generation with MEMS deformadle mirror actuated by electrostatic piston array
机译:
具有由静电活塞阵列驱动的MEMS DEFORMADLE镜的Zernike一代
作者:
Akiko Uno
;
Yoshikazu Hirai
;
Osamu Tabata
;
Toshiyuki Tsuchiya
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Mirrors;
Pistons;
Strain;
Electrodes;
Silicon;
Electrostatics;
Actuators;
39.
All-electrical transduction of black phosphorus tunable 2D nanoelectromechanical resonators
机译:
黑磷可调2D纳米机电谐振器的全电导电
作者:
Arnob Islam
;
Jaesung Lee
;
Philip X.-L. Feng
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Optical variables measurement;
Frequency measurement;
Q measurement;
Micromechanical devices;
Optical resonators;
Frequency modulation;
Current measurement;
40.
Rapid assembly of multilayer microfluidic structures
机译:
多层微流体结构的快速组装
作者:
C. Glick
;
A. Schwartz
;
M. Srimongkol
;
J. Lin
;
W. Zhuang
;
R. Warren
;
D. Tekell
;
P. Satamalee
;
L. Lin
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Microfluidics;
Three-dimensional displays;
Valves;
Nonhomogeneous media;
Soft lithography;
Bonding;
41.
In-situ tem study of highly stable oxygen nanobubbles in quasi-2D liquid system
机译:
准2D液体系统中高稳态氧纳米杆石的原位TEM研究
作者:
Pijus Kundu
;
Sankhya Bhattacharya
;
Shih-Yi Liu
;
Fu-Rong Chen
;
Fan-Gang Tseng
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Liquids;
Stability analysis;
Silicon nitride;
Platinum;
Oxygen;
Etching;
Hydrogen;
42.
8-Channel single embryo pipette for accurate C. elegans bioassays
机译:
8通道单胚胎移液管,用于精确C. Elegans Bioassays
作者:
Li Dong
;
Jingwei Zhang
;
Thomas Lehnert
;
Martin A.M. Gijs
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Embryo;
Grippers;
Suspensions;
Microfluidics;
Aging;
Sorting;
Diseases;
43.
Tunable thermo-triboelectric energy harvesting using human body heat for self-powered applications
机译:
可调谐热摩擦能量采伐,用于自动应用的人体热量
作者:
Dong Gun Enoch Lee
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Thermal energy;
Energy harvesting;
Immune system;
Magnetic materials;
Generators;
Temperature;
44.
FABRICATION OF C-DOPED WO_3 NANOAMTERIAL-BASED GAS SENSORS FOR HIGHLY SENSITIVE NO_2 DETECTION AT ROOM TEMPERATURE
机译:
用于在室温下进行高敏感NO_2检测的C掺杂WO_3纳米钳式气体传感器的制备
作者:
Dae-Hyun Baek
;
Soonjae Pyo
;
Jongbaeg Kim
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
45.
Decoding peripheral nerve sensory information with a spiked flexible neural interface
机译:
用尖刺的柔性神经接口解码周围神经感官信息
作者:
Jiahui Wang
;
Xin Yuan Thow
;
Hao Wang
;
Sanghoon Lee
;
Kai Voges
;
Nitish V. Thakor
;
Shih-Cheng Yen
;
Chengkuo Lee
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Electrodes;
Sun;
Signal to noise ratio;
Substrates;
Prosthetics;
Impedance;
Nerve fibers;
46.
Focused ultrasound transducer with electrically controllable focal length
机译:
聚焦超声换能器,电控焦距
作者:
Lurui Zhao
;
Eun Sok Kim
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Electrodes;
Transducers;
Length measurement;
Ultrasonic imaging;
Ultrasonic variables measurement;
Size measurement;
Liquids;
47.
Switchable liquid shutter for security and design of mobile electronic devices
机译:
可切换液体快门,用于移动电子设备的安全性和设计
作者:
Jeongmin Lee
;
Yuna Park
;
Sang Kug Chung
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Liquids;
Magnetic liquids;
Optical switches;
Electrodes;
Optical imaging;
Optical devices;
Substrates;
48.
A PDMS-BASED DIGITAL PCR CHIP WITH VACUUM ASPIRATION AND WATER-FILLING CAVITY INTEGRATED FOR SAMPLE LOADING AND EVAPORATION REDUCTION
机译:
基于PDMS的数字PCR芯片,具有真空吸入和水填充腔,用于样品负载和蒸发减少
作者:
Tiegang Xu
;
Lei Wu
;
Xuefeng Wang
;
Xiaoyue Zhu
;
Yuyang Bao
;
Shengran Cai
;
Gang Li
;
Xinxin Li
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
49.
Epitaxial encapsulation of fully differential electrodes and large transduction gaps for MEMS resonant structures
机译:
MEMS谐振结构的全差分电极的外延封装和大转导间隙
作者:
Ian B. Flader
;
Yunhan Chen
;
Chae Hyuck Ahn
;
Dongsuk D. Shin
;
Anne L. Alter
;
Janna Rodriguez
;
Thomas W. Kenny
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Encapsulation;
Silicon;
Electrodes;
Micromechanical devices;
Resonators;
Epitaxial growth;
Silicon compounds;
50.
An SH0 lithium niobate trans-impedance chirp compressor with high voltage gain
机译:
高压增益的SH0锂铌酸锂跨阻抗啁啾压缩机
作者:
Tomás Manzaneque
;
Ruochen Lu
;
Yansong Yang
;
Songbin Gong
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Chirp;
Impedance;
Bandwidth;
Electrodes;
Lithium niobate;
Gain;
Transducers;
51.
A facile alignment of PDMS layers for the fabrication of 3D microfluidic devices using synergistic zipper structure
机译:
使用协同拉链结构的PDMS层对3D微流体装置制备的平移对准
作者:
Lei Wu
;
Tiegang Xu
;
Gang Li
;
Xiaoyue Zhu
;
Jianlong Zhao
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Three-dimensional displays;
Microfluidics;
Fabrication;
Microchannels;
Microscopy;
Soft lithography;
Two dimensional displays;
52.
THERMAL EFFECTS OF OVENIZED CLOCKS ON EPISEAL ENCAPSULATED INERTIAL MEASUREMENT UNITS
机译:
励磁钟封装惯性测量装置的热效应
作者:
Lizmarie Comenencia Ortiz
;
Ian B. Flader
;
Gabrielle D. Vukasin
;
Dustin D. Gerrard
;
Saurabh A. Chandorkar
;
Janna Rodriguez
;
Dongsuk D. Shin
;
Ryan Kwon
;
David B. Heinz
;
Yunhan Chen
;
Woosung Park
;
Kenneth E. Goodson
;
Thomas W. Kenny
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
53.
Flexible electronic-wallpaper integrated with FGRAM-based tactile memory and temperature sensors
机译:
灵活的电子壁纸与基于FGAGR的触觉内存和温度传感器集成
作者:
Shogo Nakata
;
Kenichiro Kanao
;
Takayuki Arie
;
Seiji Akita
;
Kuniharu Takei
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Temperature sensors;
Threshold voltage;
Sensor arrays;
Temperature measurement;
Tactile sensors;
Electrodes;
Nonvolatile memory;
54.
Flexible electrochemical film power supply with disposable glucose-based energy patch as a reconfigurable epidermal energy device
机译:
柔性电化学薄膜电源,具有一次性葡萄糖的能量贴片作为可重新配置表皮能量装置
作者:
Xingguo Zhang
;
Zhihua Pu
;
Xiaochen Lai
;
Haixia Yu
;
Dachao Li
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Epidermis;
Power supplies;
Sugar;
Substrates;
Cathodes;
Anodes;
55.
A URINE TESTING CHIP BASED ON THE COMPLEMENTARY SPLIT-RING RESONATOR AND MICROFLUIDIC CHANNEL
机译:
基于互补分裂环谐振器和微流体通道的尿液检测芯片
作者:
Cheng-Hua Li
;
Kuan-Wei Chen
;
Chin-Lung Yang
;
Che-Hsin Lin
;
Ker-Chang Hsieh
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
56.
A highly miniturized single-chip MOEMS scanner for all-in-one imaging solution
机译:
用于一体化成像解决方案的高度微型单芯片MOEMS扫描仪
作者:
Aleksandar Jovic
;
Toshihiko Uto
;
Kefei Hei
;
Juan Sancho
;
Nuria Sanchez
;
Kirill Zinoviev
;
Jose L. Rubio
;
Eduardo Margallo
;
Gregory Pandraud
;
Pasqualina M. Sarro
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Optical waveguides;
Lenses;
Optical interferometry;
Silicon;
Mirrors;
Optical device fabrication;
Optical imaging;
57.
ELECTRO-OPTICALLY CONTROLLED ACOUSTO-OPTIC RACETRACK MODULATOR ETCHED IN LNOI PLATFORM
机译:
在LNOI平台中蚀刻电光控制的声光raceTrack调制器
作者:
M. Mahmoud
;
L. Cai
;
A. Mahmoud
;
T. Mukherjee
;
G. Piazza
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
58.
FABRICATION AND EVALUATION OF ASSEMBLED MICRO-TUBE RESONATOR FOR MASS MEASUREMENT IN FLOWING LIQUID
机译:
流动液体质量测量的组装微管谐振器的制造与评价
作者:
Mohammad Akita Indianto
;
Masaya Toda
;
Takahito Ono
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
59.
NEW INTEGRATED FULL-RANGE MEMS SPEAKER FOR IN-EAR APPLICATIONS
机译:
用于内耳应用的新集成全方位MEMS扬声器
作者:
Fabian Stoppel
;
Andreas Mannchen
;
Florian Niekiel
;
Daniel Beer
;
Thorsten Giese
;
Bernhard Wagner
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
60.
A Micro-fabricated flexible and flat polyimide module with highly C-axis oriented AlN piezoelectric element for accurate vital signs monitoring
机译:
具有高C轴取向ALN压电元件的微制成的柔性和扁平聚酰亚胺模块,用于精确生命体征监测
作者:
T. Sun
;
B.B. Han
;
C.L. Sun
;
Lionel Y. L. Wong
;
Alex Y. D. Gu
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Aluminum nitride;
III-V semiconductor materials;
Monitoring;
Micromechanical devices;
Substrates;
X-ray scattering;
Skin;
61.
EPITAXIALLY-GROWN THICK POLYSILICON FOR BAW DISK RESONATOR GYROSCOPES WITH VERY LOW DISSIPATION
机译:
对于凸焊盘谐振器陀螺仪的外延生长多晶硅,具有非常低的耗散
作者:
Anosh Daruwalla
;
Haoran Wen
;
Ramin Mirjalili
;
Farrokh Ayazi
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
62.
DROPLET-ENHANCED MICROSPECTROMETRY FOR TRACE LEVEL HEXAVALENT CHROMIUM DETECTION
机译:
用于痕量六价铬检测的液滴增强的微光谱法
作者:
Xiaoping Li
;
Chuan Chen
;
Honglong Chang
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
63.
An ultraminiature and flexible pressure sensor based on electrical-double-layer capacitance for catheter-tip applications
机译:
基于用于导管尖端应用的电双层电容的超敏感和柔性压力传感器
作者:
Wen Hong
;
Longjun Tang
;
Wenxi Sun
;
Bin Yang
;
Xiang Chen
;
Xiaolin Wang
;
Jingquan Liu
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Capacitance;
Electrodes;
Microcavities;
Sensitivity;
Pressure sensors;
Liquids;
64.
Selective sensing of chemical vapors using phase spectra detection on CVD graphene fet
机译:
CVD石墨烯FET中相谱检测的化学蒸气选择性感应
作者:
Huiliang Liu
;
Yao Chu
;
Yumeng Liu
;
Takeshi Hayasaka
;
Nirav Joshi
;
Yong Cui
;
Xiaohao Wang
;
Zheng You
;
Liwei Lin
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Graphene;
Sensors;
Field effect transistors;
Methanol;
Logic gates;
Ethanol;
65.
Wearable stretchable double-sided micro-supercapacitors with porous conductive elastomers
机译:
具有多孔导电弹性体的可穿戴可伸展的双面微型超级电容器
作者:
Yu Song
;
Zijian Song
;
Haotian Chen
;
Xuexian Chen
;
Hang Guo
;
Hanxiang Wu
;
Xiaoliang Cheng
;
Haixia Zhang
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Micromechanical devices;
66.
Dynamic control of an accelerometer bandwidth through tunable damping factor and effective moment of inertia
机译:
通过可调谐阻尼因子的加速度计带宽和惯性矩的动态控制
作者:
B. Fain
;
F. Souchon
;
A. Berthelot
;
R Anciant
;
P. Robert
;
G. Jourdan
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Micromechanical devices;
Accelerometers;
Bandwidth;
Resonant frequency;
Damping;
Q-factor;
Couplings;
67.
MAGNETIC-FREE ELECTRICAL CIRCULATOR BASED ON ALN MEMS FILTERS AND CMOS RF SWITCHES
机译:
基于ALN MEMS滤波器和CMOS RF开关的无磁电循环
作者:
Changting Xu
;
Enes Calayir
;
Gianluca Piazza
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
68.
Protein LEGO: 3D bionanoarchitectures with shapes and functions on demand
机译:
蛋白质乐高:3D Bionano架构,带有形状和功能
作者:
Jianjuan Jiang
;
Shaoqing Zhang
;
Long Sun
;
Nan Qin
;
Zhitao Zhou
;
Hu Tao
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Proteins;
Nanobioscience;
Three-dimensional displays;
Nanoscale devices;
Nanostructures;
Geometry;
Ion beams;
69.
SURFACE PLASMONIC RESONANCE MODULATION BY MEMS-ELASTOMER HYBRID SYSTEM
机译:
MEMS-ELASTOMER混合系统的表面等离子体共振调制
作者:
Yu-Tang Hu
;
Shih-Chun Lo
;
Yi-Chu Chen
;
Chih-Liang Pan
;
Cheng-Yao Lo
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
70.
Multi-color diffractive protein optics as a sensing platform
机译:
多色衍射蛋白光学作为传感平台
作者:
Xiaoqing Caí
;
Shan Zhang
;
Zhitao Zhou
;
Hu Tao
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Degradation;
Proteins;
Optical device fabrication;
Optical sensors;
Biomedical optical imaging;
Optical diffraction;
71.
Parametric resonance in linear microresonators using analog feedback
机译:
使用模拟反馈的线性微管中的参数共振
作者:
Jason J. Gorman
;
Vikrant J. Gokhale
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Resonators;
Oscillators;
Resonant frequency;
Micromechanical devices;
Frequency measurement;
Tongue;
Sensors;
72.
Droplet height control by electrowetting-on-dielectric for selective contact fusion of droplets on facing substrates
机译:
通过电润湿电介质进行液滴高度控制,用于面向基板上的液滴选择性接触熔化
作者:
Chikara Ohya
;
Satoshi Konishi
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Substrates;
Electrodes;
Electric fields;
Contacts;
Shape;
Fabrication;
Transportation;
73.
INLINE RELATIVE PERMITTIVITY SENSING USING SILICON ELECTRODES REALIZED IN SURFACE CHANNEL TECHNOLOGY
机译:
在表面通道技术中实现的硅电极在线相对介电常数感测
作者:
Dennis Alveringh
;
Remco J. Wiegerink
;
Joost C. Lotters
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
74.
Metamaterials to see in terahertz in “colors”
机译:
超材料在太赫兹的“颜色”中看到
作者:
Zhitao Zhou
;
Hua Li
;
Tao Zhou
;
Zhifeng Shi
;
Juncheng Cao
;
Hu Tao
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Imaging;
Quantum cascade lasers;
Metamaterials;
Detectors;
Real-time systems;
Resonators;
Temperature measurement;
75.
A SILICON-BASED PARABOLIC SUB-THz REFLECTOR ANTENNA FOR GAIN ENHANCEMENT AND NEAR-FIELD FOCUS APPLICATIONS
机译:
用于增益增强和近场聚焦应用的基于硅的抛物面副THZ反射器天线
作者:
M. T. Hsu
;
T. Y. Chiu
;
S. Y. Wu
;
Y. T. Cheng
;
C. H. Li
;
C. N. Kuo
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
76.
Single-resonator, time-switched FM MEMS accelerometer with theoretical offset drift complete cancellation
机译:
单谐振器,时间切换FM MEMS加速度计,具有理论偏移漂移完成取消
作者:
Cristiano R. Marra
;
Filippo M. Ferrari
;
Saleh Karman
;
Alessandro Tocchio
;
Francesco Rizzini
;
Giacomo Langfelder
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Micromechanical devices;
Accelerometers;
Frequency modulation;
Acceleration;
Sensors;
Resonant frequency;
Tuning;
77.
Top electrode shaping for harnessing high coupling in thickness shear mode resonators in Y-cut lithium niobate thin films
机译:
用于在Y切割锂铌酸锂薄膜中利用厚度剪切模式谐振器中的高耦合的顶部电极整形
作者:
Abhay Kochhar
;
Gabriel Vidal-Alvarez
;
Luca Colombo
;
Gianluca Piazza
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Electrodes;
Resonators;
Aluminum nitride;
III-V semiconductor materials;
Couplings;
Shape;
Films;
78.
Sulfonation of Poly(phthalazinone ether ketone) for MEMS humidity sensor
机译:
MEMS湿度传感器的聚(酞嗪酮醚酮)的磺化
作者:
Xiaohui Leng
;
Yiming Wang
;
Fei Wang
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Humidity;
Sensitivity;
Electrodes;
Micromechanical devices;
Temperature sensors;
Fabrication;
79.
A CMOS-MEMS CC-BEAM METAL RESOSWITCH FOR ZERO QUIESCENT POWER RECEIVER APPLICATIONS
机译:
用于零静态电源接收器应用的CMOS-MEMS CC束金属RESOWICH
作者:
Shi-Chuan Lu
;
Chun-Pu Tsai
;
Wei-Chang Li
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
80.
An electrostatic actuator with inherent variable stiffness to suppress bounce with robustness against gap variations
机译:
具有固有的可变刚度的静电致动器,以抑制反弹,以鲁棒性对间隙变化
作者:
X. J. Xiang
;
X. H. Dai
;
K. Wang
;
S. Sun
;
G. F. Ding
;
X. L. Zhao
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Electrodes;
Springs;
Prototypes;
Electrostatics;
Force;
Probes;
Electrostatic actuators;
81.
Integration and charaterization of nanoporous aluminum oxide membranes in microfluidic chips
机译:
微流体芯片中纳米孔氧化铝膜的整合与表征
作者:
Frank Bunge
;
Christian Habben
;
Sander van den Driesehe
;
Michael J. Vellekoop
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Silicon;
Biomembranes;
Microfluidics;
Aluminum oxide;
Bonding;
82.
Embedded passive nano-liter micropump for sweat collection and analysis
机译:
嵌入式被动纳米升微型汗水收集和分析
作者:
Erick Garcia-Cordero
;
Fabien Wildhaber
;
Francesco Bellando
;
Johan Longo
;
Montserrat Fernández-Bola?os
;
Ho?l Guerin
;
Adrian M. Ionescu
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Microfluidics;
Skin;
Liquids;
Micropumps;
Sensor systems;
Fabrication;
83.
Microfluidic stepwise-waveform regulator driven by constant pressure
机译:
微流体逐步波形调节器由恒压驱动
作者:
Geunyong Kim
;
Sung-Jin Kim
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Oscillators;
Regulators;
Microfluidics;
Stress;
Valves;
Capacitors;
Chemicals;
84.
Anti-biofouling droplet manipulation by slippery liquid infused porous surface (SLIPS) integrated with electrowetting and liquid-dielectrophoresis
机译:
通过光滑的液体注入多孔表面(滑动)与电润湿和液相电泳集成的抗生物污染液滴操纵
作者:
Hongyao Geng
;
Sung Kwon Cho
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Liquids;
Proteins;
Microfluidics;
Electrodes;
Substrates;
Dielectric liquids;
Hysteresis;
85.
Theoretical analysis and experimental verification for 3D TGV packaging technology
机译:
3D TGV包装技术的理论分析与实验验证
作者:
Yunbin Kuang
;
Dingbang Xiao
;
Jian Zhou
;
Wenyin Li
;
Zhanqiang Hou
;
Hongjuan Cui
;
Xuezhong Wu
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Glass;
Packaging;
Semiconductor device modeling;
Mathematical model;
Silicon;
Substrates;
Micromechanical devices;
86.
SENSE OF TOUCH IN SUBMICRON REGION REALIZED BY TWO-AXIS TACTILE SENSOR WITH A NEEDLE-LIKE CONTACTOR
机译:
具有针状接触器的双轴触觉传感器实现的亚微米区域的触摸感
作者:
Tsubasa Nakashima
;
Kazuki Watatani
;
Kyohei Terao
;
Fusao Shimokawa
;
Hidekuni Takao
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
87.
Transendothelial electrical resistance (TEER) measurement system of 3D tubular vascular channel
机译:
3D管状血管通道的跨候电阻(TEER)测量系统
作者:
Nobuhito Mori
;
Yuya Morimoto
;
Shoji Takeuchi
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Voltage measurement;
Three-dimensional displays;
Wires;
Q measurement;
Resistance;
Electrical resistance measurement;
88.
RESONANT-GRAVIMETRIC PARTICLE SENSORS WITH AIR-FILTERING CANTILEVER FABRICATED IN LOW-COST NON-SOI SILICON
机译:
具有空气过滤悬臂的谐振 - 重量粒子传感器,以低成本非SOI硅制成
作者:
Yuyang Bao
;
Shengran Cai
;
Haitao Yu
;
Tiegang Xu
;
Pengcheng Xu
;
Xinxin Li
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
89.
Resonators for real-time clocks based on epitaxial polysilicon process: A feasibility study on system-level compensation of temperature drifts
机译:
基于外延多晶硅工艺的实时时钟的谐振器:温度漂移系统级补偿的可行性研究
作者:
Giorgio Mussi
;
Marco Bestetti
;
Valentina Zega
;
Attilio Frangi
;
Gabriele Gattere
;
Giacomo Langfelder
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Temperature measurement;
Micromechanical devices;
Temperature sensors;
Temperature distribution;
Oscillators;
Resonators;
Resonant frequency;
90.
A magnetic, micro-spring-suspended system for the safe electrical interconnection of neural implants
机译:
用于神经植入物的安全电互连的磁性,微弹簧悬挂系统
作者:
Katharina Hoch
;
Frederick Pothof
;
Felix Becker
;
Oliver Paul
;
Patrick Ruther
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Connectors;
Contacts;
Silicon;
Resists;
Strips;
Neural engineering;
91.
Fabrication of flexible thermoelectric generators with a lens array for near-infrared solar light harvesting
机译:
具有镜头阵列的柔性热电发电机的制造,用于近红外太阳能光线收获
作者:
Y. Shimizu
;
M. Mizoshiri
;
M. Mikami
;
Y. Ito
;
J. Sakurai
;
S. Hata
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Generators;
Lenses;
Substrates;
Polyimides;
Resists;
Fabrication;
Glass;
92.
In vitro and in vivo tests of nanoporous membrane coated with biocompatible fluorine-doped diamond-like carbon for hemofiltration treatment
机译:
体外和体内试验纳米多孔膜涂覆有生物相容性氟掺杂金刚石样碳的用于血液过滤处理
作者:
Takashi Ota
;
Masamitsu Nakayama
;
Yoshihiko Kanno
;
Tetsuya Suzuki
;
Norihisa Miki
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Biomembranes;
In vitro;
Blood;
Surface treatment;
In vivo;
Diamond-like carbon;
Kidney;
93.
Reusable, flexible, and low cost parylene-C/CR shadow mask for micropatterning on arbitrary surfaces
机译:
可重复使用,灵活,低成本的Parylene-C / CR阴影掩模,用于在任意表面上进行微图案
作者:
Tao Wang
;
M. S. Hu
;
Bin Yang
;
X. L. Wang
;
Jing-Quan Liu
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Substrates;
Etching;
Glass;
Optical device fabrication;
Optical films;
94.
Integration of flexible strain sensor using liquid metal into soft micro-actuator
机译:
用液态金属将柔性应变传感器集成到软微型致动器中
作者:
Shohei Otake
;
Satoshi Konishi
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Capacitive sensors;
Metals;
Actuators;
Robot sensing systems;
Liquids;
Magnetic liquids;
Fabrication;
95.
AN INTEGRATED ION CHROMATOGRAPHY MICROCHIP FOR ULTRA FAST MEASUREMENT OF GLYCATED HEMOGLOBIN LEVELS
机译:
用于超快速测量糖化血红蛋白水平的集成离子色谱微芯片
作者:
Ding Li
;
Xiaoping Li
;
Honglong Chang
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
96.
Droplet-enhanced microspectrometry for trace level hexavalent chromium detection
机译:
用于痕量六价铬检测的液滴增强的微光谱法
作者:
Xiaoping Li
;
Chuan Chen
;
Honglong Chang
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Chromium;
Actuators;
Micromechanical devices;
Optimized production technology;
Oils;
Phase measurement;
Semiconductor device measurement;
97.
Differential method for undisturbed detection of 17β-estradiol using an integrated aptameric graphene nanosensor
机译:
用综合适体石墨烯纳米传感器未静置检测17β-雌二醇的差分方法
作者:
Yijun Li
;
Yibo Zhu
;
Zhuang Hao
;
Cheng Wang
;
Zhixing Zhang
;
Miao He
;
Qiao Lin
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Graphene;
Testing;
Sensitivity;
Biosensors;
Field effect transistors;
Transconductance;
Microfluidics;
98.
Sort'N merge: A deterministic microfluidic platform for co-encapsulating distinct particles in microdroplets
机译:
SORT'N合并:用于共同封装微量轧体中的不同颗粒的确定性微流体平台
作者:
Meng Ting Chung
;
Daniel Nunez
;
Dawen Cai
;
Katsuo Kurabayashi
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Merging;
Sorting;
Microfluidics;
Fluorescence;
Electric fields;
Throughput;
Oils;
99.
A STUDY ON FLICKER FREQUENCY NOISE OF PIEZOELECTRIC ALUMINUM NITRIDE RESONATORS AS A FUNCTION OF ELECTRODE DESIGN
机译:
电极设计函数压电铝氮化物谐振器闪烁频率噪声研究
作者:
Hoe Joon Kim
;
Soon In Jung
;
Jeronimo Segovia-Fernandez
;
Gianluca Piazza
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
100.
A MEMS microphone inspired by Ormia for spatial sound detection
机译:
由Ormia启发的MEMS麦克风用于空间声音检测
作者:
Yansheng Zhang
;
Ralf Bauer
;
William M. Whitmer
;
Joseph C. Jackson
;
James F. C. Windmill
;
Deepak Uttamchandani
会议名称:
《IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems》
|
2018年
关键词:
Microphones;
Micromechanical devices;
Sensors;
Acoustics;
Three-dimensional displays;
Azimuth;
Resonant frequency;
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