ВЛИЯНИЕ НИЗКОЭНЕРГЕТИЧЕСКОЙ ИОННО-ПЛАЗМЕННОЙ ОБРАБОТКИ НА МОРФОЛОГИЮ ПОВЕРХНОСТИ ПЛЕНОК Pt С РАЗЛИЧНОЙ ОСТРОТОЙ КРИСТАЛЛИЧЕСКОЙ ТЕКСТУРЫ

摘要

С помощью сканирующего туннельного микроскопа исследована морфология поверхности тексту-рированных пленок Pt толщиной 100 нм, подвергнутых ионно-плазменной обработке (ИПО) в плазме аргона со средней энергией ионов Аr 25-200 эВ. Исходные пленки характеризуются одинаковой шероховатостью поверхности и одинаковым средним размером зерна, но различной остротой кристаллической текстуры. Найдено, что ИПО с энергиями ионов 25-65 эВ приводит к росту шероховатости пленок Pt. При этом шероховатость пленки с большей остротой текстуры на 25-30% меньше, чем шероховатость пленки с меньшей остротой текстуры. Это различие объяснено меньшей скоростью распыления межзеренных границ в процессе ИПО для пленки с большей остротой текстуры. ИПО с энергией ионов 200 эВ приводит к уменьшению шероховатости поверхности пленок Pt на 25% вне зависимости от остроты текстуры.