法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-11-19
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/32 申请日:20180227
实质审查的生效
2019-10-25
公开
公开
机译: 用于等离子体处理室的离子能量分布操纵的方法和设备,该方法和设备允许通过振幅调制来增强离子能量
机译: 用于等离子体处理室的离子能量分布操纵的方法和装置,该方法和装置允许通过振幅调制来增强离子能量
机译: 用于等离子体处理腔的离子能量分布操纵的方法和装置,该离子束允许通过振幅调制促进离子能量的爆发