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机译:具有分叉指状指的体微加工全差分MEMS加速度计
METU-MEMS Research and Applications Center, Middle East Technical University, Ankara, Turkey|c|;
Accelerometer; bulk-micromachining; fully-differential detection; split interdigitated fingers;
机译:单芯片大体积微机械加工的三轴电容MEMS加速度计
机译:具有扭转结构和平面梳状指的全差分CMOS-MEMS z轴加速度计
机译:具有扭转结构和平面梳状指的全差分CMOS-MEMS z轴加速度计
机译:具有指状指的体微加工全差分MEMS加速度计
机译:用于微机电系统(MEMS)的叉指式角度-垂直-梳齿驱动执行器的开发。
机译:使用MetalMUMPs技术制造的全差分MEMS加速度计的设计与表征
机译:电容式梳理MEMS加速度计的表征
机译:批量微机械电容式伺服加速度计