薄板状衬底保持指状件以及具有该指状件的运送机器人

摘要

提供一种保持指状件(21)，其可在表面处理结束后的薄板状衬底(W)的被处理面上，在不形成自然氧化膜的情况下对衬底进行运送。保持指状件(21)包括：指状件本体(47)，在该指状件本体(47)的内部形成用于使上述不活泼气体流通的流路；管部件，该管部件使不活泼气体供给源与上述流路连通；喷射口，该喷射口与上述流路连通，设置于上述指状件本体(47)中的与上述薄板状衬底(W)的被处理面面对的面上，用于将上述不活泼气体喷射到上述薄板状衬底(W)的上述被处理面上；抵接部件(49)，该抵接部件(49)设置于上述指状件本体(47)中的形成上述喷射口的面上，该抵接部件(49)与上述薄板状衬底的周缘部抵接；夹持部件(57)，该夹持部件(57)以相对上述薄板状衬底(W)可进退移动的方式设置；夹持机构，该夹持机构使上述夹持部件(57)进退移动。