●エア•ウォーター独自GaN基板を開発21年初頭から量産開始

摘要

エア•ウォーター㈱(大阪巿中央区南船場2-12-8、☎06-6252-5411)は、SiConSi基板を用い、表面にトランジスタ曆を含むGaN層を成膜したパワートランジスタ用GaN基板を開発した。デバイス製造時の歩留まり向上や、高性能化への寄与が期待できる。デバイスメーカーと試作、評価を進めており、2021年初頭からの量産開始を目指している。