SOI ピクセルセンサー

摘要

SOIとは、Silicon-On-Insulator（絶縁膜上シリコン）の略称です。2つのシリコンウエハーを、絶縁膜（主にSiO_2）を介して張り合わせる技術をSOI技術と呼びます。SOI技術により作製されたSOIウエハーを半導体プロセスラインに流し、数十～数百nm の薄いSOI層にSOI-CMOS 回路を形成させます。単一のシリコンから成る、通常のバルクシリコンに形成させたバルクCMOS 回路と比べると、絶縁膜を介していることから寄生容量が小さくなり、高速かつ低消費電力駆動ができます。また、デジタル・アナログ両回路を互いに接近させてもクロストークが生じにくいので、省スペース化が可能です（※1）。これらの利点を生かし、今日ではパソコンやゲーム機のCPU等にSOI技術が採用されています。