マルチタップダイオードとハイブリッドカスケード電荷転送構造を用いた時間分解ロックインピクセルイメージセンサ

摘要

時間分解ロックインピクセルイメージセンサは， Time-of-Flight(TOF)レンジイメージングやバイオメディカルイメージングを含む様々な応用が期待されている．それらの応用を実現させるためには，サブナノ秒のフォトキャリア応答，高い量子効率や高感度化，より多くの信号タップが必要となる．これまでに多くのロックインピクセル構造が報告されているが，本発表では，上記の要求を満たす高性能ロックインピクセルを実現するために，マルチタップ pn 接合フォトダイオードとカスケード MOS-LEFM ゲートを用いたロックインピクセルを提案する．