机译:使用中能离子散射通过超浅As注入和尖峰退火产生的掺杂剂分布特征
Research Center for Materials Science at Extreme Conditions, Osaka University, 1-3 Machikaneyama, Toyonaka, Osaka 560-8531, Japan;
MEIS; RBS; SIMS; TEA; depth resolution; Si;
机译:使用中能离子散射在有尖峰退火和无尖峰退火的情况下将超浅砷注入到硅中的掺杂分布
机译:与传统的尖峰退火溶液共注入以形成45 nm n型金属氧化物半导体超浅结
机译:模拟超浅结的全面解决方案:从高剂量/低能量注入到扩散退火
机译:超浅硼和砷离子在不同温度下注入硅的过程中产生的损伤和掺杂分布,其特征为中能离子散射
机译:使用等离子体浸没离子注入和外延二硅化钴作为掺杂源的超浅结制造。
机译:使用3D中能离子散射原位表征超薄硅化镍
机译:中能离子散射法研究硅中低能离子注入的损伤形成和退火研究
机译:使用分子动力学预测半导体中的低能掺杂剂植入物轮廓