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【24h】

電子デバイス製造用クリーンルームの湿度制御の省エネルギー化に関する研究

机译:电子设备制造洁净室调湿节能研究

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摘要

以上本論文は,電子デバイス製造用のクリーンルーrnムに対して,新築,既設を問わず導入可能な省エネルrnギー技術として水噴霧式加湿冷却による温湿度制御rn方式を提案し,その実用化に向けた問題点を抽出したrn上で,理論的および実験的に解決したものである.
机译:如上所述,本文提出了一种使用喷水式加湿冷却作为节能技术的温度-湿度控制方法,该方法可以引入到用于制造电子设备的洁净室中,而不管它是新的还是现有的。这是关于rn的理论和实验解决方案,它提取了要优化的问题。

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