電子デバイス製造用クリーンルームの省エネルギー加湿技術～ドライフォグノズルを用いた水噴霧加湿の比例制御技術

摘要

我々は、現在のクリーンルームにおける温湿度制御の有り様をあらためて見直してみた。 クリーンルームでは、温度制御は主に室内側の冷却装置（ドライコイル、ファンコイルユニット）が担い、湿度制御は外調機が担うという役割分担が一般的である。 このような分担では、前述したように冬期に温熱源を使った外気加熱·加湿が不可欠になってしまう。ここで、冬期の加湿機能を外調機ではなく、室内側の空調装置に担当させるように役割変更すると、下記の2点でエネルギー上のメリットが生じると考えられた。 ①外気を加湿するための加熱は全く不要になる。②加湿方式を水加湿方式にすれば、加湿用の蒸気も不要にできる。つまり、温熱源を全く不要にできることが分かった。このような考えを実現するために我々は、クリーンルームの室内または空調循環系統に直接噴霧可能で、現状の蒸気加湿による比例制御と同等の制御性能を持ち、なおかつ安価な加湿方式として、水噴霧加湿の比例制御システムを開発したのでその概要を報告する。