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机译:掺硼SiGe外延层中注入磷的研究
Department of Microelectronics (DM), Faculty of Electrical Engineering and Information Technology, Slovak Technical University, Ilkovicova 3, 812 19 Bratislava, Slovak Republic;
SiGe; phosphorus; doping profile; SIMS; spreading resistance; DIOS;
机译:选择性地外延生长硼和磷掺杂的Si和SiGe以提高源极和漏极
机译:与硼掺杂在完全紧张的SiGe外延层中的晶格收缩
机译:重度原位掺杂硼的SiGe层的极低温度(450摄氏度)选择性外延生长
机译:激光退火碳和硼注入的SiGe外延层的IV和CV联合分析
机译:有限元模拟掺硼硅层的固相外延生长。
机译:大型硼掺杂金刚石单晶中原子硼 - 碳双层的岛屿的结构研究:逐步拉伸应力的来源
机译:通过减压化学气相沉积生长的SiGe半导体外延层中的二维硼掺杂特性