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机译:用于生物医学应用的聚对二甲苯C模式的深等离子体蚀刻
Univ Toulouse, LAAS CNRS, CNRS, INSA,INP, Toulouse, France;
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Parylene C; Plasma etching; Biomedical devices; ICP-RIE; Flexible neural probes;
机译:通过退火的等离子体诱导的血浆诱导的交联聚乙烯在SiO 2基质上进行金属催化剂的生长,用于光电器件应用
机译:用于深硅刻蚀应用的感应耦合SF 6和SF6 / Ar等离子体中等离子体化学的数值研究
机译:SF6 / O-2中双频电容耦合等离子体中深硅刻蚀过程中微尺度图案,界面等离子体结构与特征轮廓之间关系的数值研究
机译:用于高级构图应用的选择性“化学下游等离子体刻蚀”氮化硅和氧化硅的研究
机译:基于聚丙烯的柔性多功能生物医学探头及其应用
机译:SF6优化的对二甲苯C的O2等离子体蚀刻
机译:用于生物医学应用的聚对二甲苯C模式的深等离子体蚀刻
机译:氧等离子体对厚聚对二甲苯薄膜的图案化作为爆炸箔引发剂的应用