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机译:多晶硅侧面驱动微电机的简单制造工艺
机译:静电可变电容,侧驱动微电机制造的经典电沉积工艺的改进
机译:静电侧驱动电机的设计与制造过程
机译:具有光催化金属 - 有机框架的自推进微量球的简单和连续制备,用于增强协同环境修复
机译:在单个管芯上集成了自对准多晶硅栅极和后处理金属栅极器件的MOS制造工艺
机译:流体和光学应用的多晶硅微电机
机译:SU-8平面MEMS结构的简单而坚固的制造工艺
机译:宽带偏振分光器和旋转器,制造公差大,制作工艺简单
机译:用于大面积,高通量太阳能电池生产的新型低热预算薄膜多晶硅制造工艺(最终报告)