公开/公告号DE19840866B4
专利类型
公开/公告日2005-02-03
原文格式PDF
申请/专利号DE1998140866
发明设计人 SCHMUNDT HOLGER 15230 FRANKFURT DE;KNOLL DIETER DR. 15230 FRANKFURT DE;HEINEMANN BERND DR. 15234 FRANKFURT DE;
申请日1998-08-31
分类号H01L21/223;H01L21/331;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 22:01:38