机译:高纵横比的垂直梳状驱动器执行器,具有小的自对准手指间隙
Dry silicon release; Epipoly; Self-aligned process; Vertical comb drive;
机译:用于2D扫描微镜的SOI晶圆上的自对准垂直梳状驱动致动器
机译:静电梳状驱动致动器中使用的成角度的梳齿设计增强了静电力产生能力
机译:放大级联结构的立式静电梳齿驱动器的开发
机译:使用表面微加工扫描微镜的自对准垂直梳状驱动器
机译:高纵横比微线的磁对准成垂直阵列。
机译:平面外梳齿驱动器空气阻尼的估算
机译:用于扫描微镜的角度垂直梳状驱动器的理论和实验