机译:具有低热弹性阻尼的工程MEMS谐振器
Q-factor; damping; eigenvalues and eigenfunctions; finite element analysis; micromechanical resonators; partial differential equations; thermoelasticity; MEMS resonators; arbitrary structures; eigenvalues and eigenvectors; finite-element solver; low thermoelastic d;
机译:具有低热弹性阻尼的工程MEMS谐振器
机译:压阻法抑制MEMS束谐振器中的热弹性阻尼
机译:通风MEMS束谐振器热弹性阻尼的有限元分析。
机译:MEMS谐振器热弹性阻尼模态方法的研究
机译:MEMS谐振器中的能量耗散:挠曲谐振器的流体阻尼和热弹性阻尼。
机译:微管谐振器面内振动中的熵生成和热弹性阻尼
机译:静电驱动MEMS谐振器中热弹性阻尼效应分析