一种具有低热弹性阻尼结构的鼓膜仿生微谐振器件

摘要

本发明涉及微机电系统MEMS领域，公布了一种具有低热弹性阻尼结构的鼓膜仿生微谐振器件，包括：谐振体，基底。谐振体四周边缘固定在基底上，形成固定约束。谐振体为鼓膜仿生结构，形状上近似于人体鼓膜。利用一阶贝塞尔函数获得谐振体的轮廓曲线，并给定一定厚度，使其绕固定轴旋转形成谐振体。谐振体在振动时不仅产生弯曲应变，还会出现拉伸应变，而拉伸应变不产生热弹性耗散，所以本发明的结构能实现较低的热弹性阻尼。