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Analysis of the Thermoelastic Damping Effect in Electrostatically Actuated MEMS Resonators

机译：静电驱动MEMS谐振器中热弹性阻尼效应分析

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Florina Serdean; Marius Pustan; Cristian Dudescu; Corina Birleanu; Mihai Serdean;
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年度 2020
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