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机译:基于轮廓模式压电谐振器的单芯片多频ALN MEMS滤波器
Aluminum nitride (AlN); contour-mode resonators; ladder filters; microelectromechanical systems (MEMS) filters; microelectromechanical systems (MEMS) resonators; piezoelectric resonators;
机译:基于自耦合压电AlN轮廓模式谐振器的超高频通道选择MEMS滤波器
机译:与AlN轮廓模式谐振器单片集成的压电AlN RF MEMS开关的双光束驱动
机译:基于多频AlN轮廓模式MEMS谐振器的可重构CMOS振荡器
机译:基于轮廓模式氮化铝压电微机械谐振器的单芯片多频滤波器
机译:AlN MEMS轮廓模式谐振器和CMOS电路的异构集成
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机译:基于轮廓模式压电谐振器的单芯片多频ALN MEMS滤波器