机译:通过溅射沉积的(101)和(002)取向AIN薄膜
CNR, IMM, Via Monteroni, I-73100 Lecce, Italy;
CNR, IMM, Via Monteroni, I-73100 Lecce, Italy;
CNR, IMM, Via Monteroni, I-73100 Lecce, Italy|Univ Texas Dallas, Dept Mat Sci & Engn, Richardson, TX 75080 USA;
Univ Texas Dallas, Dept Mat Sci & Engn, Richardson, TX 75080 USA;
AIN; TEM; XRD; Sputtering deposition; Preferential orientation;
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