机译:B和BF_2注入在绝缘体上的硅和硅中的B和BF_2注入时,距离缺陷带的末端与上部掩埋氧化物界面之间的相互作用
机译:绝缘体上硅中超浅B注入的扩散和激活:范围末端缺陷溶解和掩埋的Si / SiO_2界面
机译:植入氧晶片中绝缘体上硅层中电子陷阱状态的深入剖析以及绝缘体上硅/埋入氧化物界面附近的局部机械应力
机译:Si / SiO_2掩埋界面对预非晶化植入物超浅结中掺杂物和缺陷演变的影响
机译:具有前掩埋氧化物(盒)界面(框)缺陷带的相互作用对比较的比较研究SOI和BF_2Implants,具有预先形成植入物。
机译:通过等离子体注入氧气和等离子体浸没离子注入进行分离,以形成绝缘体上硅。
机译:无法识别的轨道图像导致诊断混淆:硅油和植入硅胶包围带
机译:绝缘体上硅中超浅B注入的扩散和激活:范围末端缺陷溶解和掩埋的Si / SiO2界面
机译:氧气注入式埋氧氧化硅绝缘体结构中的光波导