机译:探索正性化学放大抗蚀剂的极限分辨率:使用极端紫外线干涉光刻技术的26 nm密集线
Center for Nanotechnology, University of Wisconsin-Madison, 3731 Schneider Drive, Stoughton, Wisconsin 53589;
机译:化学放大抗蚀剂的感光度增强和使用极端紫外线干涉光刻的性能研究
机译:用于极端紫外光刻的分辨率模糊与化学放大抗蚀剂随机缺陷的关系
机译:极紫外光刻技术中化学放大抗蚀剂的分辨率模糊和随机缺陷之间的关系
机译:化学放大的聚(4-羟基苯乙烯-甲基丙烯酸叔丁酯)抗蚀剂(用于极端紫外光刻的高性能模型抗蚀剂)引起的随机现象的研究
机译:探索基于溶出抑制剂的非化学放大抗蚀剂,用于193 nm光刻。
机译:通过使用非化学放大的抗蚀剂和曝光后烘烤来制造具有改善的线边缘粗糙度的高分辨率掩模
机译:探索模拟放大抗蚀剂的极限分辨率:使用极端紫外线光刻的26nm致密线
机译:用于干式显影正极性抗蚀剂的高硅含量甲硅烷基化试剂,适用于极紫外(13.5 nm)和深紫外(248 nm)微光刻