法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-11-05
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/039 申请日:20171010
实质审查的生效
2019-05-24
公开
公开
机译: 用于化学放大型正性光致抗蚀剂组合物的厚膜,厚膜光致抗蚀剂层压板,厚膜光致抗蚀剂图案的生产方法和连接端子
机译: 能够形成微细颗粒的i-line化学增强的正性光致抗蚀剂组合物及其光致抗蚀剂图案的形成方法
机译: 低温干刻蚀的化学放大正性光致抗蚀剂组合物和使用该方法的光致抗蚀剂图案形成方法