机译:极紫外光刻技术中化学放大抗蚀剂的分辨率模糊和随机缺陷之间的关系
EUV lithographyChemically amplified resistStochastic defectSensitivityResolution blurShot noise;
机译:用于极端紫外光刻的分辨率模糊与化学放大抗蚀剂随机缺陷的关系
机译:用于极端紫外线型抗蚀剂的线边缘粗糙度中分辨率模糊和射击噪声的关系
机译:极紫外光刻中使用的化学放大抗蚀剂的线条边缘粗糙度形成中分辨率模糊和散粒噪声之间的关系
机译:化学放大的聚(4-羟基苯乙烯-甲基丙烯酸叔丁酯)抗蚀剂(用于极端紫外光刻的高性能模型抗蚀剂)引起的随机现象的研究
机译:强烈的毛细管放电等离子体极紫外光源,用于极紫外光刻和其他极紫外成像应用。
机译:通过使用非化学放大的抗蚀剂和曝光后烘烤来制造具有改善的线边缘粗糙度的高分辨率掩模
机译:用于极端紫外光刻的分辨率模糊与化学放大抗蚀剂随机缺陷的关系
机译:更新sEmaTECH 0.5 Na极紫外光刻(EUVL)微场曝光工具(mET)。会议:spIE - 极紫外(EUV)光刻V,加利福尼亚州圣何塞,2014年2月23日;相关信息:Journal.publication日期:90481m。