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机译:面罩检查系统中照明光学系统的相干控制
Topcon Corporation Corporate R&D Center General Engineering and Quality Assurance Division 75-1 Hasunuma-cho, Itabashi-ku Tokyo 174-8580, Japan,Tokyo Polytechnic University Faculty of Engineering Department of Photonic Information and Media Engineering 1583 liyama, Atsugi Kanagawa 243-0297, Japan;
Topcon Corporation Corporate R&D Center General Engineering and Quality Assurance Division 75-1 Hasunuma-cho, Itabashi-ku Tokyo 174-8580, Japan;
Tokyo Polytechnic University Faculty of Engineering Department of Photonic Information and Media Engineering 1583 liyama, Atsugi Kanagawa 243-0297, Japan;
mask; defect; inspection; spatial coherence; illumination optics; fly-eye elements;
机译:使用学习系统增强的缺陷检测能力,适用于具有投影电子显微镜光学元件的极紫外光刻掩模检测工具
机译:用于掩膜表面检测系统表征的NIST可追踪粒度的$ {rm SiO} _ {2} $纳米颗粒的受控沉积
机译:NIST可追踪粒度的纳米颗粒的可控沉积,用于掩模表面检测系统表征
机译:利用199 nm检测光学器件捕获的掩模图像特性开发下一代掩模检测方法
机译:用于体内耳蜗力学测量的光纤探针和体光谱域光学相干断层扫描系统
机译:甲状腺手术中的喉罩气道检查和光纤气管检查:一种及时识别需要气管切开术的气管软化的方法。
机译:基于分类器集合的多功能裂纹检测便携式系统和控制照明
机译:Controle de Coherence en systemes Transactionnels。 Tome 2. protocole de Controle de Coherence dans UN sgbd Reparti(交互系统中的一致性控制。第2卷。分布式数据库管理中的一致性控制协议