公开/公告号CN102483516B
专利类型发明专利
公开/公告日2015-09-30
原文格式PDF
申请/专利权人 卡尔蔡司SMT有限责任公司;
申请/专利号CN201080037247.0
申请日2010-06-08
分类号
代理机构北京市柳沈律师事务所;
代理人邱军
地址 德国上科亨
入库时间 2022-08-23 09:29:51
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-09-30
授权
授权
2012-07-11
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B17/06 申请日:20100608
实质审查的生效
2012-05-30
公开
公开
机译: 用于照明成像光学系统的照明光学系统和用于将物场成像为像场的物场
机译: 成像光学系统,用于在像场中对物场照明光学器件成像以及照明物场
机译: 用于照明物场的照明光学系统和用于形成物场的像场的成像光学系统