将物场成像到像场中的成像光学单元，以及包括这种成像光学单元的投射曝光设备

摘要

本发明涉及投射光刻的成像光学单元(7)，其具有多个反射镜(M1至M8)，以将成像光(3)从物场(4)引导到像场(8)中。物场(4)沿着第一、较大物场尺寸和沿着第二、较小物场尺寸由两个物场坐标(x，y)跨越。成像光学单元(7)具有至少两个掠入射反射镜(M2，M3，M5，M6)和至少一个法线入射反射镜(M4)，该法线入射反射镜(M4)布置在成像光束路径中的两个掠入射反射镜(M3，M5)之间。该法线入射反射镜(M4)的采用的反射表面具有在沿着第一反射表面坐标(x)的表面尺寸和沿着平行于第二物场尺寸的第二反射表面坐标(y)的表面尺寸之间的纵横比(x/y)，该纵横比小于4.5。结果是具有制造成本减少的成像光学单元。