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机译:通过原子层沉积制造的低损耗二氧化钛带状波导
Institute of Photonics, University of Eastern Finland, FI-80101 Joensuu, Finland|c|;
Deposition and fabrication; nanostructure fabrication; waveguides;
机译:球形蛋白笼通过原子层沉积制备的二氧化钛纳米结构
机译:低损耗光波导,用于来自原子层沉积的具有Al_2O_3薄膜的近紫外和可见光谱区域
机译:以四氯化钛和四异丙氧基钛为前体的二氧化钛原子层沉积
机译:通过原子层沉积的低损耗二氧化钛带状波导
机译:使用四-二甲基酰胺基钛和水前体在硅和砷化镓衬底上沉积二氧化钛的原子层。
机译:用于近紫外线的低损耗光波导和来自原子层沉积的Al2O3薄膜的可见光光波导
机译:通过原子层沉积的低损耗钛二氧化硅条带波导