机译:电容式MEMS加速度计测试和校准的电气设置研究
MEMS testing; Alternate test; Capacitive accelerometer;
机译:电容式MEMS加速度计测试和校准的电气设置研究
机译:边缘对MEMS电容式加速度计自校准影响的研究
机译:使用电气测量确定电容式MEMS加速度计中的电气和机械参数
机译:一种新型方法,具有完全电气设置的电容式加速度计的测试和校准
机译:使用电刺激BIST校准MEMS电容式加速度计。
机译:一种基于玻璃 - 硅复合晶片的电容MEMS加速度计的新型制造方法
机译:基于吸合电压的电容式MEMS加速度计的自动校准