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机译:验证光发射光谱作为金刚石化学气相沉积所用微波活化Ch_4 / ar / h_2等离子体的诊断结果
机译:用于纳米晶金刚石膜沉积的Ar / CH_4 / H_2微波等离子体的光学和质谱测量
机译:结合空间分辨的光发射成像和微波活化的H-2 / Ar和H-2 / KR等离子体的建模研究,用于金刚石化学气相沉积的功率和压力
机译:添加N_2的微波Ar-CH_4 / H_2等离子体化学气相沉积金刚石纳米棒装饰的a-SiO_2纳米线的微结构和电子场发射研究。
机译:用于金刚石沉积的中压H2 / CH4和Ar / H_2 / CH_4微波等离子体的建模
机译:通过改进的微波等离子体辅助化学气相沉积金刚石工艺制造的薄膜冷阴极材料的生长,表征和电子场发射测量。
机译:微波等离子体化学气相沉积掺氮钻石。 II:CH4 / N2 / H2等离子
机译:微波测量CH_4 / H_2 / N_2等离子体增强化学气相沉积过程中氮掺杂金刚石薄膜的椭偏研究
机译:微波等离子体活化化学气相沉积法制备低损耗光纤。