机译:在聚酰亚胺基板上的铜上形成的微机械流量传感器及其在呼吸测量中的应用
Hiroshima City Univ, Dept Biomed Informat Sci, Hiroshima, Hiroshima 7313194, Japan;
Hiroshima City Univ, Dept Biomed Informat Sci, Hiroshima, Hiroshima 7313194, Japan;
Hiroshima City Univ, Dept Biomed Informat Sci, Hiroshima, Hiroshima 7313194, Japan;
Nagoya Univ, Dept Med Technol, Nagoya, Aichi 4618673, Japan;
Nagoya Univ, Dept Med Technol, Nagoya, Aichi 4618673, Japan;
Hiroshima City Univ, Dept Biomed Informat Sci, Hiroshima, Hiroshima 7313194, Japan;
机译:在聚酰亚胺衬底上形成的微机械流量传感器,并在呼吸测量中的应用
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机译:Mems流量传感器,电气布线和管结构在聚酰亚胺基板上的铜上的集成
机译:柔性基板上的MEMS压阻式压力传感器,采用镍铬合金和CNT /聚酰亚胺纳米复合材料作为压阻器。
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机译:使用微加工传感器剪切应力测量翼型表面。
机译:从射频感应源在层压聚酰亚胺基板上沉积铝 - 铜合金