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机译:离子束沉积接着准分子激光室温结晶的塑料基板上多晶硅薄膜的新方法
Samsung Advanced Institute of Technology (SAIT), Kyunggi-Do, Korea;
poly-Si TFT; ULTPS; ion beam deposition; ELC;
机译:准分子激光溅射非晶硅膜的准分子激光结晶工艺,温度为100℃,制备了大型多晶硅晶粒
机译:低温催化化学气相沉积(<150℃)和激光晶化的非晶硅膜沉积在多晶硅薄膜晶体管中的应用
机译:沉积温度对电子束蒸发多晶硅薄膜及二极管激光器结晶的影响
机译:使用准分子激光处理激光结晶薄A-Si薄膜塑料基材上的结晶
机译:在准分子激光照射多晶硅膜中的2-D熔化
机译:香豆素-6多晶薄膜在各种基板温度下真空沉积生长的特征
机译:出版商的注意事项:“沉积温度对电子束蒸发的多晶硅薄膜薄膜的影响,二极管激光器结晶”苹果。物理。吧。 104,242102(2014)
机译:硅薄膜准分子激光晶化:用于薄膜晶体管应用的晶界限位和单晶岛材料的人工控制超横向生长