准分子激光烧结玻璃衬底上多晶硅薄膜材料的制备

邱法斌; 骆文生; 张玉; 刘传珍; 荆海; 黄锡珉

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准分子激光烧结玻璃衬底上多晶硅薄膜材料的制备

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在PECVD法制备a-Si∶H薄膜材料基础上, 以XeCl准分子激光烧结为手段, 对在玻璃衬底上制备多晶硅薄膜材料的工艺条件进行了探索, 利用XRD、 SEM、 Raman光谱等分析测试手段对所制备材料的结构特征进行了表征. 较高的衬底温度、合适的激光能量密度和脉冲频率, 有利于获得高质量的多晶硅薄膜.

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来源
《液晶与显示》|2001年第3期|170-175|共6页
作者
邱法斌; 骆文生; 张玉; 刘传珍; 荆海; 黄锡珉;
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作者单位

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春 130021 北方液晶工程研究开发中心吉林长春 130021;

吉林大学电子工程系吉林长春 130022;

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春 130021 北方液晶工程研究开发中心吉林长春 130021;

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春 130021 北方液晶工程研究开发中心吉林长春 130021;

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春 130021 北方液晶工程研究开发中心吉林长春 130021;

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春 130021 北方液晶工程研究开发中心吉林长春 130021;

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所吉林长春 130021 北方液晶工程研究开发中心吉林长春 130021;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜的生长、结构和外延;
关键词
多晶硅膜; 准分子激光烧结; 玻璃衬底; 制备;
入库时间 2022-08-18 08:59:02

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