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机译:微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积法合成掺硼非晶氮化碳薄膜的结构和光学性质
Ibaraki National College of Technology, Hitachinaka, Ibaraki 312-8508, Japan;
Tsuyama National College of Technology, Tsuyama, Okayama 708-8509, Japan;
Tsuyama National College of Technology, Tsuyama, Okayama 708-8509, Japan;
Okayama University of Science, Okayama 700-0005, Japan;
Department of Electronics and Informatics, Faculty of Science and Technology, Ryukoku University, Otsu 520-2194, Japan;
Department of Electronics and Informatics, Faculty of Science and Technology, Ryukoku University, Otsu 520-2194, Japan;
Department of Electronics and Informatics, Faculty of Science and Technology, Ryukoku University, Otsu 520-2194, Japan;
Okayama University of Science, Okayama 700-0005, Japan;
机译:电子回旋共振微波等离子体化学气相沉积合成的非晶态氮化碳膜的力学性能
机译:退火温度对表面波微波等离子体化学气相沉积法生长的氮化非晶碳薄膜的光学,键合,结构和电性能的影响
机译:退火温度对表面波微波等离子体化学气相沉积法生长的氮化非晶碳薄膜的光学,键合,结构和电性能的影响
机译:通过电子回旋共振化学气相沉积合成的碳 - 氮化物,金刚石碳和硅基薄膜
机译:通过聚合物源化学气相沉积合成的非晶碳化硅和碳氮化硅薄膜的表征。机械结构和金属界面性能
机译:射频等离子体增强化学气相沉积(RF PECVD)反应器中样品高度对氮化硅薄膜光学性能和沉积速率的影响
机译:偏压对电子回旋共振等离子体在CoCrMo合金上制备的氢化非晶碳膜性能的影响增强了化学气相沉积(ECR-PECVD)
机译:电子回旋共振微波等离子体化学气相沉积法研究氮等离子体不稳定性及氮化硅的生长