机译:利用非线性来提高基于静电耦合MEMS谐振器的模式局部质量传感器的灵敏度
Dalian Univ Technol State Key Lab Struct Anal Ind Equipment Dalian Peoples R China;
Dalian Univ Technol State Key Lab Struct Anal Ind Equipment Dalian Peoples R China;
Univ Bourgogne Franche Comte FEMTO ST Inst Dept Appl Mech UMR 6174 CNRS UFC ENSMM UTBM Besancon France;
Dalian Univ Technol State Key Lab Struct Anal Ind Equipment Dalian Peoples R China;
China Acad Engn Phys Inst Elect Engn Mianyang Sichuan Peoples R China;
China Acad Engn Phys Inst Elect Engn Mianyang Sichuan Peoples R China;
Xian Technol Univ Sch Mechatron Xian Peoples R China;
Dalian Univ Technol State Key Lab Struct Anal Ind Equipment Dalian Peoples R China|Dalian Ocean Univ Coll Ocean & Civil Engn Dalian Peoples R China;
Mass sensor; Mode localization; Electrostatic coupling; Nonlinear dynamics;
机译:在使用SOI工艺制造的静电耦合MEMS谐振器对中利用模式定位效应的质量传感器
机译:用于VHF范围的交叉耦合光束CMOS-MEMS谐振器,具有增强的静电检测能力
机译:使用静电驱动的两个弱耦合MEMS悬臂进行质量感测的非线性分析模型
机译:传感器基于使用SOI过程制造的静电耦合MEMS谐振器中的模式 - 定位效果
机译:基于静电的MEMS谐振器中的非线性和相位噪声。
机译:低G MEMS加速度计具有高灵敏度低非线性和基于3-DOF弱耦合谐振器的模式定位的大动态范围
机译:基于三个电耦合谐振器的局部模式MEMS电势传感器