アナログ集積回路における容量の実現及び評価手法に関する一考察

摘要

As proceeding to a deep submicron era, the area efficiency of and the precision of passive components have become important factors in analog designs. Focusing on various implementations of capacitors such as MIM capacitors and Metal-Fringe capacitors, this work addresses trade-offs' issues related to the area, relative accuracy and thermal characteristics. The discussions in this paper are based on not the measurement but the simulation results with an existing model or with parasitics by an LPE tool. However, we introduce a capacitor measurement circuit with a mechanism to evaluate the relative accuracy of capacitors.%MOSFET の微細化が進み、アナログ集積回路では、受動素子の省面積化及び高精度化のためのレイアウト及び実装方法の検討が急務である。本研究では、MIM 容量や櫛型客量など容量の異なる実現方法を対象として、それらの面積、相対精度、温度特性に関するトレードオフについて考察する。本考察は、既存のモデル及びLPE によるシミュレーション評価に留まるが、将来的に容量値の相対精度を実測するための評価回路についても紹介する。