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机译:具有FUSI金属栅极的20 nm超薄体全耗尽SOI器件的可制造性
Dopant fluctuations; Full silicidation (FUSI); Fully depleted silicon-on-insulator (FDSOI); Selective epi; Silicon thickness control; Ultrathin body (UTB); V{sub}(th) variations;
机译:基于90nm SOI CMOS工艺的H-Gate超薄栅极氧化物部分耗尽的SOI pMOS和nMOS器件中浮体电位的比较
机译:单栅极和双栅极超薄硅薄膜耗尽SOI技术的可制造性
机译:总剂量辐射在具有超薄栅极氧化物的部分耗尽SOI NMOS中引起的浮体效应变化
机译:具有金属栅极(TaSiN)栅极,高K(HfO / sub 2 /)电介质和升高的源极/漏极扩展的超薄体全耗尽SOI器件
机译:纳米栅极长度部分耗尽硅-NON-insulator CMOS器件和电路中浮体效应的分析,建模和控制
机译:具有TiO2栅极电介质的超薄VO2通道中的正偏置栅极控制的金属-绝缘体过渡
机译:单栅极超薄体SOI肖特基势垒MOSFET的性能研究
机译:具有快速生长的超薄siO2栅极绝缘体的mOs(金属氧化物半导体)器件的界面和击穿特性。