机译:基于Petri网的晶圆制造中混合多簇工具的最优单晶圆循环调度。
Department of Industrial Engineering, School of Electro-mechanical Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou, China|c|;
Multi-cluster tools; Petri net (PN); scheduling; semiconductor manufacturing;
机译:基于Petri网的多项式复杂方法在半导体制造中混合多集群工具的一晶圆最优循环调度。
机译:半导体制造中基于Petri网的单臂多集群工具最佳单晶片调度
机译:基于Petri网的树状混合多集群工具单晶片循环最优调度的多项式方法
机译:具有空间缓冲模块的混合多集群工具的最佳单晶片循环调度分析
机译:基于Petri网的常规制造车间在线调度系统。
机译:BioNetSim:基于Petri网的建模工具用于模拟生化过程
机译:基于petri网的时间约束单臂群集工具调度与晶圆再访
机译:用于实现硅混合晶圆级集成的多层铝互连的制作和电气特性