基于扩展混合Petri网的晶圆制造系统建模

周炳海; 潘青枝; 陶丽华

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基于扩展混合Petri网的晶圆制造系统建模

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提出了一种扩展的面向对象混合Petri网(EOHPN)的建模方法:针对晶圆制造系统的复杂性,在EOHPN模型中融入了面向对象的抽象机制;为了减少系统建模的复杂性,引入混合Petri网并用面向对象建模技术作了扩展.在定义EOHPN模型的基础上,作了对象模型的拓展.用实例描述了基于EOHPN的晶圆制造系统的建模过程,验证了模型在处理系统建模时的有效性.

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来源
《计算机工程》 |2007年第10期|237-239254|共4页
作者
周炳海; 潘青枝; 陶丽华;
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作者单位

上海交通大学机械与动力工程学院;

上海;

200030;

上海交通大学机械与动力工程学院;

上海;

200030;

柔性制造系统技术国家重点实验室;

长春;

130030;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类信息处理（信息加工）;
关键词
晶圆制造; Petri网; 面向对象模型; 混合系统; 建模;

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