机译:基于机器学习的新颖性检测,用于半导体制造中的缺陷晶圆检测
Seoul National University. 599 Cwanangno, Cwanak-gu, Seoul 151-744, Republic of Korea;
Information Technology Management Programme, International Fusion School, Seoul National University of Science & Technology (SeoulTech), 232 Congreungno, Nowon-gu, Seoul, 139-743, Republic of Korea;
Seoul National University. 599 Cwanangno, Cwanak-gu, Seoul 151-744, Republic of Korea;
Department of Engineering Science, University of Oxford, Oxford 0X1 3PJ, UK;
Samsung Electronics Co. Ltd., 416 Maetan-dong, Yeongtong-gu, Suwon, Cyeonggi-do, Republic of Korea;
novelty detection; faulty wafer detection; semiconductor manufacturing; virtual metrology; dimensionality reduction;
机译:改进半导体制造中缺陷晶片检测的分类和回归联合建模
机译:基于机器学习的无线传感器网络的高效节能和故障节点检测
机译:基于机器学习的晶片试验诱导缺陷的检测方法
机译:使用动态增长自组织映射法检测故障半导体晶圆
机译:使用基于机器学习的API呼叫的威胁检测模型对Windows平台上的赎金软件检测
机译:通过从感觉数据中剥削无监督学习通过剥削无人学习的半导体制造的设备异常检测
机译:使用深卷积编码器解码器神经网络架构在半导体制造中的晶片缺陷模式的异常检测和分割