机译:基于带有标签不确定性自训练的半监督支持向量回归:在半导体制造中的虚拟计量学中的应用
Korea Univ, Sch Ind Management Engn, Seoul 02841, South Korea;
Korea Inst Ind Technol, Smart Mfg Technol Grp, Cheonan 31056, South Korea;
Seoul Natl Univ, Dept Ind Engn, Seoul 08826, South Korea;
Semi-supervised learning; Support vector regression; Probabilistic local reconstruction; Data generation; Virtual metrology; Semiconductor manufacturing;
机译:使用支持向量机对半导体进行质量多分类的基于虚拟计量的工程链管理
机译:基于即时学习的半导体制造虚拟计量技术
机译:k-NN回归的概率局部重构及其在半导体制造虚拟计量中的应用
机译:半导体制造中的数据挖掘和支持向量回归机器学习以改善虚拟计量
机译:半导体制造过程中基于深度学习的虚拟计量
机译:使用在线半监督支持向量回归的无线传感器网络中的目标定位
机译:高斯过程回归,用于半导体制造中启用虚拟计量的运行到运行控制